ALICAT 质量流量控制器11系列-基本型

 

应用及案例

 

● 大学/研究所    ● 环境监测     ● 真空镀膜    ● 工业炉窑    ● 半导体    ● 汽车制造    ● 光伏    ● 燃料电池     

● 计量    ● 过程工艺气体测量

产品特色

 

● 低价位产品
● 标配模拟控制方式，数字可选
● 高量程比 200:1
● 响应时间快 仅需100ms(可调)

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性能指标

 

介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    单种气体标定，请参考背面气体兼容表

量       程    从0-10SCCM 到 0-20SLPM（）

量  程  比    200:1

显示流量：102.4%FS

精    度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-满量程

重复性：± 0.2% FS

零点漂移&满量程漂移：0.02% FS / ℃ / Atm

预热时间：<1s

响应时间：100ms(可调)

标定工况：25?C & 100kPa 绝压

工作温度：-10 ～ +50℃

工作湿度：0-99%,无冷凝

标准工作压力：1MPa 表压

标准极限耐压：1.2MPa 表压

中压选项：2MPa

模拟输入/输出信号：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA

数字输入/输出信号：可选RS-232

供电电压：7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)

供电电流：250mA

电气接口：DB15

材质：302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝、

黄铜、 430FR 不锈钢、 硅、 玻璃

安装方式：对位置无要求 

防护等级：IP40

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