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BROOKS质量流量控制器
简要描述:5866M模拟金属密封压力式质量流量控制器模拟橡胶密封;流量范围:0-30000sccm;压力范围:7
5866M模拟金属密封压力式质量流量控制器
模拟橡胶密封; 流量范围:0-30000 sccm;
压力范围:7.25 psia -1450 psia FS(橡胶密封);
7.25 psia -72.5 psia FS(金属密封);
精度:±0.5% FS
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